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　　科技日报记者 齐芃

　　记者17日从中核集团中国原子能科学扣问院获悉，由该院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）成效出束，中枢策划达到国际先进水平。这记号着我国已全面掌抓串列型高能氢离子注入机的全链路研发技艺，攻克了功率半导体制造链中的要津智商，为鼓舞高端制造装备自主可控、保险产业链安全奠定坚实基础。

　　离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜千里积成就并称为芯片制造“四大中枢装备”，是半导体制造不成或缺的“刚需”成就。恒久以来，我国高能氢离子注入机通盘依赖海外入口，其研发难度大、技艺壁垒高，是制约我国要津技艺产业升级发展的瓶颈之一。

　　中国原子能科学扣问院依托在核物理加速器范围数十年的深厚蓄积，以串列加速器技艺算作中枢技能，破解一系列珍惜，通盘掌抓了串列型高能氢离子注入机从底层旨趣到整机集成的正向设想才略，冲破了海外企业在该范围的技艺禁闭和恒久把持，将有劲训诫我国在功率半导体等要津范围的自主保险才略，更为助力“双碳”标的终了、加速发展新质出产力提供强有劲技艺撑持。

　　（中核集团供图）

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